和普通長管拖車類似,高純氣體長管拖車由8~12只大容積無縫氣瓶、管路、閥門、安全裝置、框架等部分組成,見圖2,由于充裝介質(zhì)的特殊要求,這些零部件結(jié)構(gòu)、性能特點和普通長管拖車差異很大。高純氣體長管拖車用大容積無縫氣瓶,其材料、加工工藝、熱處理狀態(tài)、結(jié)構(gòu)形式等方面和普通長管拖車用大容積無縫氣瓶相同,不同地方在于氣瓶內(nèi)部狀態(tài)。普通鋼瓶內(nèi)部狀態(tài)為噴丸表面,滿足純度在99.99%以下介質(zhì)充裝需求。如氣瓶需要充裝高純氣體,由于鋼材表面細小顆粒、毛刺等存在,一方面會吸附水分等雜質(zhì),在一定條件下會從基體中析出,進入充裝介質(zhì),使介質(zhì)中水粉含量超標,另一方面,在顆粒、毛刺等尖端部分和充裝介質(zhì)發(fā)生復雜、緩慢化學反應,如長時間存放介質(zhì),使得介質(zhì)中金屬離子含量超標。
因此,為避免氣瓶對氣體污染而影響純度,氣瓶首先經(jīng)過研磨處理,去除表面顆粒物、毛刺等,研磨分為粗磨和精磨兩個過程,使用不同磨料,經(jīng)數(shù)十小時研磨,表面粗糙度達到3S,達到鏡面效果,見圖3,其次進行清洗,清洗介質(zhì)為高溫去離子水,水溫通常為70℃,以避免水中各種離子吸附在金屬表面,如充裝介質(zhì)具有強氧化性,例如N2O,還要進行脫脂處理,最后,為清除已吸附在鋼材基體中的水分,還需要對鋼瓶進行加熱、抽真空、置換等處理,將水分排盡,最終氣瓶介質(zhì)含水量達到小于1mg/L。在投入使用前,根據(jù)充裝介質(zhì),還需要在氣瓶內(nèi)充入相應氣體介質(zhì),形成鈍化層,避免充裝介質(zhì)和鋼材產(chǎn)生作用,影響純度。
高純氣體長管拖車管路材料為304,316L,和普通長管拖車管路相比,不同之處在于:1)對管路表面狀態(tài)要求,采用的管路為拋光管,管路經(jīng)過拋光、鈍化處理,表面粗糙度在0.4μm以下。2)管路、閥門、端塞之間連接方式,全部采用對接焊接,見圖4,采用焊接方式,降低泄漏風險,一方面降低有毒介質(zhì)泄漏造成危害的風險,另一方面避免因泄漏點存在,造成環(huán)境中水分滲透,導致介質(zhì)純度降低。3)管路成型方式,高純氣體長管拖車管路切割、彎管、邊角處理都有特殊要求,避免對管道光潔度造成破壞,要求在高純氬氣吹掃下進行,焊接接頭采用夾具對齊,接頭為對接形式,焊縫兩側(cè)采用丙酮清洗,且焊接接頭在全封閉條件下進行,焊接過程以及焊接前、后使用高純氬氣吹掃,防止空氣混入,為自熔全焊透焊縫。4)管路安全檢測,普通長管拖車管路采用水壓進行檢測,而該管路系統(tǒng)采用高純氣體進行氣壓試驗,試驗壓力一般為設計壓力的1.25倍,嚴禁采用水壓試驗,此外,高純氮氣管路系統(tǒng)還有進行氮氣吹掃,氦檢漏,含氧量檢測,以及微粒子檢測等。