和普通長(zhǎng)管拖車類似，高純氣體長(zhǎng)管拖車由8～12只大容積無縫氣瓶、管路、閥門、安全裝置、框架等部分組成，見圖2，由于充裝介質(zhì)的特殊要求，這些零部件結(jié)構(gòu)、性能特點(diǎn)和普通長(zhǎng)管拖車差異很大。高純氣體長(zhǎng)管拖車用大容積無縫氣瓶，其材料、加工工藝、熱處理狀態(tài)、結(jié)構(gòu)形式等方面和普通長(zhǎng)管拖車用大容積無縫氣瓶相同，不同地方在于氣瓶?jī)?nèi)部狀態(tài)。普通鋼瓶?jī)?nèi)部狀態(tài)為噴丸表面，滿足純度在99.99%以下介質(zhì)充裝需求。如氣瓶需要充裝高純氣體，由于鋼材表面細(xì)小顆粒、毛刺等存在，一方面會(huì)吸附水分等雜質(zhì)，在一定條件下會(huì)從基體中析出，進(jìn)入充裝介質(zhì)，使介質(zhì)中水粉含量超標(biāo)，另一方面，在顆粒、毛刺等尖端部分和充裝介質(zhì)發(fā)生復(fù)雜、緩慢化學(xué)反應(yīng)，如長(zhǎng)時(shí)間存放介質(zhì)，使得介質(zhì)中金屬離子含量超標(biāo)。

因此，為避免氣瓶對(duì)氣體污染而影響純度，氣瓶首先經(jīng)過研磨處理，去除表面顆粒物、毛刺等，研磨分為粗磨和精磨兩個(gè)過程，使用不同磨料，經(jīng)數(shù)十小時(shí)研磨，表面粗糙度達(dá)到3S，達(dá)到鏡面效果，見圖3，其次進(jìn)行清洗，清洗介質(zhì)為高溫去離子水，水溫通常為70℃，以避免水中各種離子吸附在金屬表面，如充裝介質(zhì)具有強(qiáng)氧化性，例如N2O，還要進(jìn)行脫脂處理，最后，為清除已吸附在鋼材基體中的水分，還需要對(duì)鋼瓶進(jìn)行加熱、抽真空、置換等處理，將水分排盡，最終氣瓶介質(zhì)含水量達(dá)到小于1mg/L。在投入使用前，根據(jù)充裝介質(zhì)，還需要在氣瓶?jī)?nèi)充入相應(yīng)氣體介質(zhì)，形成鈍化層，避免充裝介質(zhì)和鋼材產(chǎn)生作用，影響純度。

高純氣體長(zhǎng)管拖車管路材料為304，316L，和普通長(zhǎng)管拖車管路相比，不同之處在于：1）對(duì)管路表面狀態(tài)要求，采用的管路為拋光管，管路經(jīng)過拋光、鈍化處理，表面粗糙度在0.4μm以下。2）管路、閥門、端塞之間連接方式，全部采用對(duì)接焊接，見圖4，采用焊接方式，降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)，一方面降低有毒介質(zhì)泄漏造成危害的風(fēng)險(xiǎn)，另一方面避免因泄漏點(diǎn)存在，造成環(huán)境中水分滲透，導(dǎo)致介質(zhì)純度降低。3）管路成型方式，高純氣體長(zhǎng)管拖車管路切割、彎管、邊角處理都有特殊要求，避免對(duì)管道光潔度造成破壞，要求在高純氬氣吹掃下進(jìn)行，焊接接頭采用夾具對(duì)齊，接頭為對(duì)接形式，焊縫兩側(cè)采用丙酮清洗，且焊接接頭在全封閉條件下進(jìn)行，焊接過程以及焊接前、后使用高純氬氣吹掃，防止空氣混入，為自熔全焊透焊縫。4）管路安全檢測(cè)，普通長(zhǎng)管拖車管路采用水壓進(jìn)行檢測(cè)，而該管路系統(tǒng)采用高純氣體進(jìn)行氣壓試驗(yàn)，試驗(yàn)壓力一般為設(shè)計(jì)壓力的1.25倍，嚴(yán)禁采用水壓試驗(yàn)，此外，高純氮?dú)夤苈废到y(tǒng)還有進(jìn)行氮?dú)獯祾?，氦檢漏，含氧量檢測(cè)，以及微粒子檢測(cè)等。